产品说明：

主要特点：
·最适合于检测半导体特气的微量泄漏。
·采用声光报警。
技术指标： 型号 ZD69-703D
检测对象气体 半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）
检测原理 热线型半导体式
采样方式 自动吸引式
可检测浓度
单位：ppm 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度 10秒以内